硅晶片烧结炉网带高温运转中的运用技巧

    硅晶片烧结炉网带高温运转中的运用技巧粉末冶金烧结网带，一般的网带在操作8周后，因为氮化及碳化导致带子开端决裂。以传统314不锈钢网带为例，一般常先作调质预热处理，亦即在870℃下于活动之空气中以正常条件操作28小时后切换至N2-3%H2,然后持温2小时，接著于14小时内逐步升温至1120℃并持温8小时，然后才开端烧结零件。

    此刻气氛中含有约3ppm之氧，露点约为-55℃。（即含约20ppm之水蒸气）。但约8周后，带子即开端决裂。此乃因不锈钢外表之薄氧化铬层在预热区是氧化情况，进入高温区后变成复原性，故外表氧化物被复原，但在进入冷却区后，虽气氛相同，但因温度下降，又变回氧化性，使网带又再氧化，此氧化、复原循环将导致材料受损。

    此外，不锈钢在高温区中因零件中之石墨及润滑剂会分化而产生CO,导致渗碳，此CO与不锈钢网中之Cr反响生成碳化铬，而气氛中之氮也会与铬反响成氮化铬，此两种化合物均为硬脆之化合物，使得不锈钢网带寿数缩短。