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13852191798 温度过高,首要就是IPA不好操控,温度一高,IPA的挥发很快,气泡印就会随之出现,这样就大大减少了PN结的有效面积,反响加重,还会出现片子的漂浮,造成碎片率的添加。可控程度:调理机器的设置,能够很好的调理温度。

时刻金字塔随时刻的改变:金字塔逐步冒出来;表面上基本被小金字塔覆盖,少量开始成长;金字塔布满的绒面已经形成,只是巨细不均匀,反射率也降到比较低的情况;金字塔向外扩张吞并,体积逐步胀大,尺度趋于平等,反射率略有下降。可控程度:调理设备参数,能够精确的调理时刻。
IPA1.帮忙氢气的开释。2.削弱NaOH溶液对硅片的腐蚀力度,调理各向因子。纯NaOH溶液在高温下对原子摆放比较稀疏的100晶面和比较致密的111晶面损坏比较大,各个晶面被腐蚀而融化,IPA显着削弱NaOH的腐蚀强度,添加了腐蚀的各向异性,有利于金字塔的成形。乙醇含量过高,碱溶液对硅溶液腐蚀能力变得很弱,各向异性因子又趋于。